BAB 9

Transport Pembawa Muatan

Mekanisme pergerakan elektron dan hole dalam semikonduktor: drift akibat medan listrik, derivasi Hukum Ohm, Efek Hall, dan difusi akibat gradien konsentrasi.

9.1 Transport Drift dan Derivasi Hukum Ohm

Pada suhu kamar, elektron di dalam semikonduktor memiliki energi termal yang menyebabkan mereka bergerak secara acak ke segala arah dengan kecepatan termal rata-rata yang sangat tinggi ($\approx 10^7 \text{ cm/s}$). Karena pergerakannya acak, perpindahan rata-ratanya adalah nol, sehingga tidak ada arus listrik yang mengalir.

Namun, ketika sebuah medan listrik ($\mathcal{E}$) diterapkan, elektron akan mengalami gaya elektrostatis ($F = -q\mathcal{E}$) yang menyebabkan mereka dipercepat selama waktu di antara dua tumbukan (waktu relaksasi rata-rata atau mean free time, $\tau$). Setelah tumbukan, kecepatan elektron diatur ulang (menjadi acak kembali), lalu dipercepat lagi oleh medan listrik. Hasil bersih dari proses ini adalah elektron memiliki komponen kecepatan rata-rata ke arah tertentu, yang disebut Kecepatan Drift ($v_d$).

1. Tanpa Medan Listrik (Gerak Acak) e⁻ mulai ≈0 Δr ≈ 0 → v_rata-rata = 0 2. Dengan Medan Listrik E (Drift) E e⁻ mulai Δr ≠ 0 v_drift ← (melawan E)
Gambar 9.1. (Kiri) Gerak termal acak elektron tanpa medan listrik menghasilkan perpindahan nol. (Kanan) Dengan medan listrik ke kanan, lintasan acak elektron terbias ke kiri, menghasilkan kecepatan drift rata-rata.
Derivasi Kecepatan Drift ($v_d$)

Misalkan sebuah elektron bermassa $m$ bergerak di dalam semikonduktor. Pada saat $t=0$, elektron baru saja mengalami tumbukan dan memiliki kecepatan awal acak $\vec{v}_0$. Selama waktu bebas rata-rata $\tau$ sebelum tumbukan berikutnya, medan listrik $\mathcal{E}$ mempercepat elektron tersebut.

Gaya yang dialami elektron: $F = -q\mathcal{E}$. Berdasarkan Hukum II Newton, percepatannya adalah:

$$ a = \frac{F}{m} = -\frac{q\mathcal{E}}{m} $$

Sebelum tumbukan berikutnya (pada waktu $t = \tau$), perubahan kecepatan elektron akibat medan listrik adalah:

$$ \Delta v = a \tau = -\frac{q\mathcal{E}\tau}{m} $$

Karena kecepatan awal rata-rata akibat gerak termal adalah nol ($\langle \vec{v}_0 \rangle = 0$), maka kecepatan rata-rata keseluruhan (kecepatan drift, $v_d$) sama dengan perubahan kecepatan ini:

$$ v_d = -\frac{q\tau}{m} \mathcal{E} \quad \text{atau} \quad |v_d| = \mu \mathcal{E} \tag{9.1} $$

Di mana $\mu = \frac{q\tau}{m}$ adalah mobilitas pembawa muatan. Karena massa efektif elektron lebih kecil dari hole, mobilitas elektron ($\mu_n$) umumnya lebih besar daripada mobilitas hole ($\mu_p$).

Derivasi Hukum Ohm dari Teori Pita

Arus listrik ($I$) adalah jumlah muatan yang melintasi penampang per satuan waktu. Rapat arus ($J$, arus per satuan luas) yang dihasilkan oleh elektron dan hole adalah:

$$ J = J_n + J_p = (n q v_{dn}) + (p q v_{dp}) $$

Substitusikan persamaan kecepatan drift ($v_{dn} = \mu_n \mathcal{E}$ dan $v_{dp} = \mu_p \mathcal{E}$):

$$ J = (n q \mu_n \mathcal{E}) + (p q \mu_p \mathcal{E}) = (n q \mu_n + p q \mu_p) \mathcal{E} $$

Suku dalam kurung adalah konduktivitas material ($\sigma$):

$$ \sigma = q (n \mu_n + p \mu_p) \tag{9.2} $$

Sehingga kita mendapatkan $J = \sigma \mathcal{E}$. Jika kita ubah ke variabel makroskopis (Arus $I = J A$, Tegangan $V = \mathcal{E} L$, dan resistansi $R = \rho L / A$), persamaan ini berubah menjadi Hukum Ohm yang familiar:

$$ I = \frac{V}{R} \quad \text{atau} \quad V = I R \tag{9.3} $$

Ini membuktikan bahwa Hukum Ohm sebenarnya muncul dari perilaku mikroskopis elektron dan hole yang bergerak dalam medan listrik.

Medan Listrik (E) ke Kanan Material Semikonduktor e- e- h+ h+
Gambar 9.2. Transport Drift. Medan listrik E ke kanan menyebabkan elektron (muatan negatif) bergerak ke kiri, dan hole (muatan positif) bergerak ke kanan.
Contoh Perhitungan 9.1: Kecepatan Drift, Konduktivitas, dan Resistivitas Silikon Tipe-N

Sebuah batang silikon tipe-N didoping dengan fosforus hingga konsentrasi elektron $n = 10^{16} \text{ cm}^{-3}$. Pada suhu kamar, diketahui mobilitas elektron $\mu_n = 1350 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}$ dan mobilitas hole $\mu_p = 480 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}$. Batang tersebut memiliki panjang $L = 1 \text{ cm}$ dan dialiri tegangan $V = 10 \text{ V}$.

a) Berapa kecepatan drift elektron?

Pertama, hitung medan listrik di dalam batang:

$$ \mathcal{E} = \frac{V}{L} = \frac{10 \text{ V}}{1 \text{ cm}} = 10 \text{ V/cm} $$

Menggunakan Persamaan 9.1:

$$ v_{dn} = \mu_n \mathcal{E} = (1350 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s})(10 \text{ V/cm}) = 13.500 \text{ cm/s} $$

Bandingkan ini dengan kecepatan termal ($\approx 10^7 \text{ cm/s}$): kecepatan drift hanya sekitar 0,1% dari kecepatan termal. Ini menunjukkan bahwa medan listrik hanya memberikan "bias" yang sangat kecil terhadap gerak acak yang sangat cepat.

b) Berapa konduktivitas dan resistivitas material?

Karena material tipe-N dengan doping tinggi, konsentrasi hole jauh lebih kecil ($p \approx \frac{n_i^2}{n} \approx \frac{(1{,}5 \times 10^{10})^2}{10^{16}} \approx 2{,}25 \times 10^4 \text{ cm}^{-3}$), sehingga suku hole dapat diabaikan. Gunakan Persamaan 9.2:

$$ \sigma \approx n q \mu_n = (10^{16} \text{ cm}^{-3})(1{,}6 \times 10^{-19} \text{ C})(1350 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}) $$
$$ \sigma \approx 2{,}16 \text{ (}\Omega\cdot\text{cm)}^{-1} $$

Resistivitas adalah kebalikannya:

$$ \rho = \frac{1}{\sigma} = \frac{1}{2{,}16} \approx 0{,}463 \text{ }\Omega\cdot\text{cm} $$

c) Berapa rapat arus ($J$) dan arus total ($I$) jika penampang batang $A = 1 \text{ mm}^2$?

$$ J = \sigma \mathcal{E} = (2{,}16 \text{ }\Omega^{-1}\text{cm}^{-1})(10 \text{ V/cm}) = 21{,}6 \text{ A/cm}^2 $$

Ubah luas penampang: $A = 1 \text{ mm}^2 = 10^{-2} \text{ cm}^2$. Maka:

$$ I = J \cdot A = (21{,}6 \text{ A/cm}^2)(10^{-2} \text{ cm}^2) = 0{,}216 \text{ mA} $$

Verifikasi dengan Hukum Ohm makroskopis: Hitung resistansi batang $R = \rho L / A = (0{,}463 \text{ }\Omega\cdot\text{cm})(1 \text{ cm}) / (10^{-2} \text{ cm}^2) = 46{,}3 \text{ }\Omega$. Maka $I = V/R = 10 / 46{,}3 \approx 0{,}216 \text{ mA}$. Hasilnya identik — membuktikan konsistensi antara pendekatan mikroskopis dan makroskopis.

9.2 Efek Hall

Efek Hall terjadi ketika semikonduktor yang mengalir arus listrik diletakkan di dalam medan magnet tegak lurus. Akibat adanya gaya Lorentz, pembawa muatan akan membelok dan menumpuk di satu sisi permukaan material, menciptakan tegangan transversal yang disebut Tegangan Hall ($V_H$).

Misalkan arus listrik $I$ mengalir ke kanan (sumbu-x positif). Ini berarti elektron (pembawa muatan mayoritas, misal pada tipe-N) bergerak ke kiri dengan kecepatan drift $v_d$. Jika medan magnet $B$ diberikan tegak lurus keluar dari permukaan (sumbu-z positif), elektron akan mengalami gaya Lorentz:

$$ \vec{F} = -q (\vec{v}_d \times \vec{B}) $$

Arah silang antara kecepatan elektron (kiri, $-x$) dan medan magnet (keluar, $+z$) menghasilkan vektor ke arah bawah ($+y$). Karena muatan elektron negatif, gayanya menjadi ke arah atas ($-y$). Akibatnya, elektron menumpuk di sisi atas material. Sisi atas menjadi lebih negatif dibandingkan sisi bawah, menciptakan medan listrik internal ke bawah. Pada keadaan setimbang, gaya magnet sama dengan gaya listrik internal:

$$ q \mathcal{E}_H = q v_d B \implies V_H = \mathcal{E}_H \cdot w = v_d B w $$

Dengan mensubstitusikan $v_d = \frac{I}{n q A}$ dan $A = w \cdot t$ (luas penampang = lebar $\times$ tebal), kita dapatkan rumus Tegangan Hall:

$$ V_H = \frac{I B}{n q t} = R_H \frac{I B}{t} \tag{9.4} $$

Efek Hall sangat penting untuk mengukur jenis pembawa muatan (elektron menghasilkan polaritas negatif di atas, hole menghasilkan polaritas positif di atas) dan menghitung konsentrasinya melalui Koefisien Hall ($R_H = \frac{1}{nq}$).

Material Tipe-N (Mayoritas e-) I v_d (e-) B F (Gaya) - - - - - + + + + + V + - Material Tipe-P (Mayoritas h+) I v_d (h+) B F (Gaya) + + + + + - - - - - V - + Perhatikan polaritas Tegangan Hall (V_H) pada voltmeter. Meskipun arah arus (I) dan medan magnet (B) sama, akumulasi muatan yang berbeda (elektron vs hole) menyebabkan polaritas V_H menjadi terbalik.
Gambar 9.3. Skema perbandingan Efek Hall pada material Tipe-N dan Tipe-P. Gaya Lorentz mendorong pembawa muatan ke bawah pada kedua kasus, namun karena muatan yang berbeda, polaritas tegangan Hall yang terukur menjadi terbalik.
Contoh Perhitungan 9.2: Menentukan Jenis dan Konsentrasi Pembawa Muatan via Efek Hall

Sebuah sampel semikonduktor berbentuk tabung pipih dengan tebal $t = 0{,}5 \text{ mm}$ dialiri arus $I = 5 \text{ mA}$ sepanjang sumbu panjangnya. Medan magnet $B = 0{,}2 \text{ T}$ diterapkan tegak lurus terhadap permukaan datar sampel. Sebuah voltmeter yang dihubungkan ke sisi atas dan bawah sampel membaca tegangan Hall $V_H = -12{,}5 \text{ mV}$ (sisi atas lebih negatif).

a) Tentukan jenis pembawa muatan mayoritas.

Sisi atas lebih negatif berarti muatan negatif (elektron) menumpuk di sana. Ini sesuai dengan skema Tipe-N pada Gambar 9.3. Oleh karena itu, material ini adalah semikonduktor tipe-N dengan pembawa muatan mayoritas berupa elektron.

b) Hitung konsentrasi elektron ($n$).

Dari Persamaan 9.4, kita susun ulang untuk mencari $n$:

$$ V_H = \frac{I B}{n q t} \implies n = \frac{I B}{V_H \cdot q \cdot t} $$

Masukkan nilai (perhatikan konversi satuan: $t = 0{,}5 \text{ mm} = 5 \times 10^{-4} \text{ m}$, $V_H = -12{,}5 \text{ mV} = -12{,}5 \times 10^{-3} \text{ V}$, gunakan nilai mutlak):

$$ n = \frac{(5 \times 10^{-3} \text{ A})(0{,}2 \text{ T})}{(12{,}5 \times 10^{-3} \text{ V})(1{,}6 \times 10^{-19} \text{ C})(5 \times 10^{-4} \text{ m})} $$
$$ n = \frac{10^{-3}}{10^{-24}} = 10^{21} \text{ m}^{-3} = 10^{15} \text{ cm}^{-3} $$

Konsentrasi elektron sebesar $10^{15} \text{ cm}^{-3}$ mengkonfirmasi bahwa ini adalah material tipe-N dengan tingkat doping sedang.

c) Hitung mobilitas elektron ($\mu_n$) jika diketahui resistivitas material $\rho = 4{,}63 \text{ }\Omega\cdot\text{cm}$.

Dari hubungan konduktivitas (Persamaan 9.2, dengan $p \approx 0$ untuk tipe-N):

$$ \sigma = \frac{1}{\rho} = n q \mu_n \implies \mu_n = \frac{1}{\rho \cdot n \cdot q} $$
$$ \mu_n = \frac{1}{(4{,}63 \text{ }\Omega\cdot\text{cm})(10^{15} \text{ cm}^{-3})(1{,}6 \times 10^{-19} \text{ C})} = \frac{1}{7{,}41 \times 10^{-4}} \approx 1350 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s} $$

Nilai mobilitas ini khas untuk silikon tipe-N pada suhu kamar. Contoh ini menunjukkan bagaimana pengukuran Hall yang sederhana dapat mengekstrak tiga informasi fundamental sekaligus: jenis pembawa muatan (dari tanda $V_H$), konsentrasi (dari besar $V_H$), dan — bila dikombinasikan dengan pengukuran resistivitas — mobilitas pembawa muatan.

🧲 Buka Simulasi Interaktif Efek Hall

9.3 Transport Difusi

Berbeda dengan drift yang dipicu oleh medan listrik, transport Difusi dipicu oleh gradien konsentrasi pembawa muatan. Partikel secara alami cenderung bergerak dari daerah yang ber konsentrasi tinggi ke daerah yang ber konsentrasi rendah karena gerak termal acak mereka.

Fenomena ini serupa dengan tetesan tinta yang diteteskan ke dalam gelas air; tinta akan menyebar (berdifusi) dari pusat tetesan (konsentrasi tinggi) ke seluruh gelas (konsentrasi rendah). Dalam semikonduktor, rapat arus difusi elektron ($J_n$) dan hole ($J_p$) dirumuskan oleh Hukum Fick:

$$ J_{n(diff)} = q D_n \frac{dn}{dx} \quad \text{dan} \quad J_{p(diff)} = -q D_p \frac{dp}{dx} \tag{9.5} $$

Perhatikan tanda yang berbeda: untuk elektron (muatan $-q$), arus difusi mengalir ke arah yang berlawanan dengan gradien konsentrasinya. Untuk hole (muatan $+q$), arus difusi mengalir searah dengan gradien konsentrasinya.

Di mana $D_n$ dan $D_p$ adalah koefisien difusi. Hubungan antara koefisien difusi dan mobilitas dirumuskan oleh Hubungan Einstein:

$$ D = \frac{k_B T}{q} \mu \tag{9.6} $$

Dalam perangkat semikonduktor riil (seperti transistor), arus listrik total adalah kombinasi dari arus drift dan arus difusi: $J_{total} = J_{drift} + J_{difusi}$.

Contoh Perhitungan 9.3: Arus Difusi dan Hubungan Einstein

Pada suhu kamar ($T = 300 \text{ K}$), dalam sebuah struktur semikonduktor terdapat gradien konsentrasi elektron linier sepanjang sumbu-$x$. Pada posisi $x_1 = 0$, konsentrasi elektron $n_1 = 10^{18} \text{ cm}^{-3}$, dan pada posisi $x_2 = 10\,\mu\mathrm{m}$, konsentrasi elektron $n_2 = 10^{16} \text{ cm}^{-3}$. Diketahui mobilitas elektron $\mu_n = 1000 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}$.

a) Hitung koefisien difusi elektron ($D_n$) menggunakan Hubungan Einstein.

Pada suhu kamar, faktor tegangan termal adalah $k_B T / q = 0{,}026 \text{ V}$. Menggunakan Persamaan 9.6:

$$ D_n = \frac{k_B T}{q} \mu_n = (0{,}026 \text{ V})(1000 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}) = 26 \text{ cm}^2/\text{s} $$

Nilai $D_n \approx 26 \text{ cm}^2/\text{s}$ adalah nilai khas untuk elektron di silikon pada suhu kamar. Sebagai perbandingan, untuk hole dengan $\mu_p = 400 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}$, kita akan mendapatkan $D_p \approx 10{,}4 \text{ cm}^2/\text{s}$. Perhatikan bahwa koefisien difusi elektron selalu lebih besar dari hole karena mobilitasnya lebih tinggi.

b) Hitung rapat arus difusi elektron ($J_{n(diff)}$).

Pertama, hitung gradien konsentrasi. Konversi jarak: $\Delta x = 10 \, \mu\text{m} = 10 \times 10^{-4} \text{ cm} = 10^{-3} \text{ cm}$.

$$ \frac{dn}{dx} = \frac{n_2 - n_1}{\Delta x} = \frac{10^{16} - 10^{18}}{10^{-3}} = \frac{-9{,}9 \times 10^{17}}{10^{-3}} = -9{,}9 \times 10^{20} \text{ cm}^{-4} $$

Gradien bernilai negatif karena konsentrasi menurun seiring bertambahnya $x$. Sekarang gunakan Persamaan 9.5:

$$ J_{n(diff)} = q D_n \frac{dn}{dx} = (1{,}6 \times 10^{-19} \text{ C})(26 \text{ cm}^2/\text{s})(-9{,}9 \times 10^{20} \text{ cm}^{-4}) $$
$$ J_{n(diff)} \approx -4118 \text{ A/cm}^2 \approx -4{,}1 \times 10^3 \text{ A/cm}^2 $$

Tanda negatif pada $J_{n(diff)}$ menunjukkan bahwa arus difusi elektron mengalir ke arah $-x$, yaitu dari daerah konsentrasi tinggi ($x = 0$) menuju daerah konsentrasi rendah ($x = 10 \, \mu\text{m}$). Ini masuk akal secara fisik: elektron berdifusi menuruni gradien konsentasi.

c) Bandingkan dengan arus drift yang dihasilkan medan listrik yang sama besarnya.

Medan listrik yang menghasilkan rapat arus drift setara ($|J_{n(drift)}| = 4118 \text{ A/cm}^2$) dapat dihitung dari $J_{n(drift)} = n q \mu_n \mathcal{E}$. Gunakan konsentrasi rata-rata $n_{avg} \approx 5 \times 10^{17} \text{ cm}^{-3}$:

$$ \mathcal{E}_{eq} = \frac{|J_{n(diff)}|}{n_{avg} \cdot q \cdot \mu_n} = \frac{4118}{(5 \times 10^{17})(1{,}6 \times 10^{-19})(1000)} = \frac{4118}{80} \approx 51{,}5 \text{ V/cm} $$

Artinya, gradien konsentrasi yang sangat curam dalam contoh ini ($10^{18} \rightarrow 10^{16}$ dalam 10 $\mu$m) menghasilkan arus difusi yang setara dengan arus drift yang dihasilkan oleh medan listrik $\approx 51{,}5 \text{ V/cm}$. Dalam junction transistor yang sangat tipis (ratusan nanometer), arus difusi bahkan dapat mendominasi total arus — inilah mengapa difusi bukan sekadar efek korektif kecil, melainkan mekanisme transport yang esensial dalam operasi perangkat semikonduktor modern.

Pertanyaan Latihan Bab 9
  1. Jelaskan perbedaan konsep antara kecepatan termal acak dan kecepatan drift pada elektron dalam semikonduktor!
  2. Turunkan rumus kecepatan drift ($v_d$) menggunakan konsep waktu relaksasi rata-rata ($\tau$) dan medan listrik ($\mathcal{E}$)!
  3. Turunkan persamaan Hukum Ohm makroskopis ($V = I R$) dari persamaan rapat arus mikroskopis pada semikonduktor!
  4. Dalam Efek Hall, mengapa elektron dapat menumpuk di satu sisi material padat? Jelaskan menggunakan konsep gaya Lorentz!
  5. Sebuah semikonduktor tipe-N diletakkan dalam medan magnet. Jika koefisien Hall-nya ($R_H$) bernilai negatif, apa makna fisis dari nilai negatif tersebut?
  6. Jelaskan fenomena transport difusi! Apa yang menjadi pendorong terjadinya difusi partikel?
  7. Tuliskan Hubungan Einstein! Faktor apa yang menghubungkan antara koefisien difusi ($D$) dan mobilitas ($\mu$)?
  8. Sebuah batang germanium tipe-P memiliki konsentrasi hole $p = 5 \times 10^{15} \text{ cm}^{-3}$ dan $\mu_p = 1900 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}$. Hitunglah konduktivitas dan resistivitas material tersebut!
  9. Batang silikon tipe-N pada Contoh Perhitungan 9.1 ($n = 10^{16} \text{ cm}^{-3}$, $\mu_n = 1350 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}$) dialiri tegangan $V = 5 \text{ V}$ (panjang tetap $1 \text{ cm}$). Hitung kecepatan drift elektron yang baru dan bandingkan dengan kecepatan drift pada tegangan $10 \text{ V}$. Apa kesimpulan Anda?
  10. Sebuah sampel silikon tipe-P dengan tebal $t = 1 \text{ mm}$ dialiri arus $I = 2 \text{ mA}$ dan diletakkan dalam medan magnet $B = 0{,}5 \text{ T}$. Jika tegangan Hall yang terukur adalah $V_H = +62{,}5 \text{ mV}$ (sisi atas positif), hitunglah konsentrasi hole ($p$)! Apakah polaritas $V_H$ yang positif konsisten dengan material tipe-P?
  11. Pada suhu $T = 400 \text{ K}$, hitunglah koefisien difusi hole ($D_p$) di silikon jika $\mu_p = 300 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}$ pada suhu tersebut. Bandingkan dengan nilai $D_p$ pada suhu kamar ($300 \text{ K}$, $\mu_p = 480 \text{ cm}^2/\text{V}\cdot\text{s}$) dan jelaskan mengapa nilainya berubah!

9.4 Referensi

Berikut adalah daftar pustaka yang direkomendasikan untuk memperdalam materi pada bab ini serta keseluruhan mata kuliah Teknologi Nano:

  1. Neamen, D. A. (2012). Physics of Semiconductor Devices (4th ed.). New York: McGraw-Hill Education.
  2. Griffiths, D. J. (2018). Introduction to Quantum Mechanics (3rd ed.). Cambridge: Cambridge University Press.
  3. Ashcroft, N. W., & Mermin, N. D. (1976). Solid State Physics. Philadelphia: Saunders College.
  4. Sze, S. M., & Ng, K. K. (2006). Physics of Semiconductor Devices (3rd ed.). Hoboken, NJ: Wiley-Interscience.
  5. Kittel, C. (2005). Introduction to Solid State Physics (8th ed.). Hoboken, NJ: John Wiley & Sons.
  6. Poole, C. P., & Owens, F. J. (2003). Introduction to Nanotechnology. Hoboken, NJ: Wiley-Interscience.